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圖片 XYZ三軸運動模組

XYZ三軸運動模組

爭取評論頭條

• 採用模組塊堆疊方式組合，能依據客戶需求，做多樣式配置。
• 直驅模塊搭配高剛性導軌和高性能驅動器，模組可達到百奈米級的重複和定位精度。
•可廣泛應用於光纖耦合、精密檢測、半導體檢測、IC封裝設備、物件量測、微型工程等範圍。

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機型	GNTXYZT-100-100-60-OP-0000			GNTXYZT-160-160-60-OP-0000
軸向	X軸	Y軸	Z軸	X軸	Y軸	Z軸
負載	Y+Z+10 kg	Z+10 kg	10 kg	Y+Z+10 kg	Z+10 kg	10 kg
行程	100 mm	100 mm	60 mm	160 mm	160 mm	60 mm
定位精度/轉角精度	± 0.3 µm	± 0.3 µm	± 0.3 arc-sec	± 0.3 µm	± 0.3 µm	± 0.3 arc-sec
重複精度	± 0.15 µm	± 0.15 µm	± 0.15 arc-sec	± 0.15 µm	± 0.15 µm	± 0.15 arc-sec
單軸直線度	± 2 µm	± 2 µm	± 2.5 µm	± 2 µm	± 2 µm	± 2.5 µm
XY正交	15 are-sec		--	15 are-sec		--
YZ正交	--	15 are-sec		--	15 are-sec
靜態抖動	± 20 nm	± 20 nm	± 20 nm	± 20 nm	± 20 nm	± 20 nm
連續推力	26.7 N	26.7 N	26.7 N	26.7 N	26.7 N	26.7 N
瞬時推力	133.4 N	133.4 N	133.4 N-m	133.4 N	133.4 N	133.4 N-m
連續電流	1.6 Arms	1.6 Arms	1.6 Arms	1.6 Arms	1.6 Arms	1.6 Arms
瞬時電流	8 Arms	8 Arms	8 Arms	8 Arms	8 Arms	8 Arms
線馬電阻	8.3 ohms	8.3 ohms	8.3 ohms	8.3 ohms	8.3 ohms	8.3 ohms
線馬電感	1.8 mH	1.8 mH	1.8 mH	1.8 mH	1.8 mH	1.8 mH
電氣時間常數	0.21ms	0.21ms	0.21ms	0.21ms	0.21ms	0.21ms
反電動勢常數	13.9 V/(m/s)	13.9 V/(m/s)	13.9 V/(m/s)	13.9 V/(m/s)	13.9 V/(m/s)	13.9 V/(m/s)
光學尺類別	增量,類比(20 nm)	增量,類比 (20 nm)	增量,類比(20 nm)	增量,類比(20 nm)	增量,類比(20 nm)	增量,類比(20 nm)